در عصر حاضر با توجه به اهمیت استفاده از خلاء، گترها به منظور جذب گازهای فعال از اهمیت بالایی برخوردار میباشند چون امروزه با توجه به حساسیت بالای برخی تجهیزات، خلاء بسیار بالایی برای کارکرد مناسب آنها مورد نیاز میباشد.
گترها[1] موادی هستند که برای جذب گازهای باقیمانده در یک محفظه خلأ،به منظور دست یابی به خلأهای بالا و نگهداری طولانی مدت خلأ، بکار می روند. آنها با مکانیزم جذب سطحی و نفوذ عوامل جذب شده به درون جاذب، عملیات جذب را انجام میدهند. با توسعه تکنولوژی، نیاز به خلأ بالا و افزایش سرعت ایجاد خلأ، توسعه گترها سرعت گرفته و در این راه با چالش هایی نیز روبرو بوده است. از جمله این چالشها میتوان به توان دستیابی به خلأ مورد نظر، ظرفیت جذب جاذب، حساسیت تجهیزات قرار گرفته درمحیط خلأ و ... اشاره نمود. همچنین لازم به ذکر است، خلاء مورد نیاز برای کارکرد مناسب دستگاههادر گذشته توسط انواع پمپهای روتاری، دیفوزیون و توربو مولکولار ایجاد شده است.
از گترها در موارد مختلفی مثل: خالص سازی گازهای مختلفاز جمله آرگون، تولید خلاء در محفظههای میکروسکوپ الکترونی، جذب و نگهداری ایزوتوپهای هیدروژن و نگهداری شرایط خلاء برای زمانهای طولانی، میتوان استفاده کرد.
با توجه به پیشرفتهای علمی اخیر گترهای متنوعی تولیدشده اند که از عناصر زیادی برای تولید آنها استفاده شده است. در این بین عناصر Zr وTi از جمله عناصری میباشندکه به عنوان عنصر اصلی آلیاژ جاذب مورد استفاده قرار گرفته و عناصر دیگری به آنهااضافه شده اند.
گترها
به صورت کلی گترها به دو دسته تبخیر شونده (EG[2])و تبخیر نشونده ([3]NEG)تقسیم میشوند. اجزاءگتر هایEG در دماهای بالا بسته به نوع موادبه کار رفته، تبخیر شده و بر روی سطح محفظه رسوب میکنند. در این حالت گترها آمادگیجذب گازهای فعال موجود در محیط را دارا میباشند.
در گترهای NEG، گتر در اشکال گوناگونی تولید میشود و برعکس گترهای EG،در پروسه جذب گازها تبخیر نمیشود، ولی برای فعال شدن به دمای بالایی نیاز دارد چون بر روی این گترها لایه ای اکسیدی شکل گرفته است که مانع از جذب گازها میشود. بر اثر حرارت این لایه از بین رفته و سطح گتر آماده جذب گازهای فعال میشود.
هر کدام از این دو نوع گتر با توجه به شرایط محیطی که مورد استفاده قرار میگیرند دارای اولویت میباشند، مثلا گترهای تبخیر نشونده برای شروع به کار خود نیاز به فعال سازی دارند و همین مساله باعث میشود تا آنها نیاز به هیتر داشته باشند تا دمای گتر افزایش یابد. معمولا برای شروع فعالیت گترها دما باید حداقل به 250-300 برسد، در این دما اکسید های سطحی موجود بر روي سطح گتر درون خود آن حل شده و سطح گترآماده جذب مولکول های گاز میشود.
برای فعال سازی گتر ها با توجه به تحقیقات انجامشده، محدودیتهایی براي دما و زمان به منظور عملکرد بهتر گتر وجود دارد، مثلا براییک گتر پایه زیرکونیوم که میبایست در دمای 200 فعال سازی شود، گتر حداقل باید مدت 6 ساعت در این دما قرار گیرد تا کاملا فعال شود، حال آنکهبرای فعال سازی همین گتر در دمای 400 زمان کمتری در حدود( 2 ساعت) مورد نیاز میباشد.
گتر های تبخیر شونده به فعال سازی نیاز ندارند ولی این گترها نیز دارای محدودیتهایی همانند احتمال انجام واکنش های ناخواسته بین مولکول های گتر تبخیر شده ومولکول های گاز موجود در محفظه، میباشند. برای جلوگیری از این امر باید با توجهبه ترکیب گازهای موجود در محفظه دقت کافی در انتخاب ماده جاذب صورت گیرد.
عملکرد گتر ها
گترها موارد مصرف متعددی دارند که از جمله میتوان بهمیکروسکوپ های الکترونی به عنوان جاذب، لامپ های نوترونی و فوتونی، شتاب دهندهذرات، محفظه های خلاء، سیستم های خالص سازی گاز و خالص سازی هیدروژن به کمک پلاسمااشاره نمود.
جاذب ها برای عملکرد بهتر باید دارای خصوصیاتی باشند کهدر ادامه به آنها اشاره میشود:
-داشتن انرژی پیوندی بالا بین مولکول های گاز و گتر: در این صورت ازنظر ترمودینامیکی پیوند تشکیل شده پایدار بوده و امکان رسیدن به خلاءهای بالاترنیز وجود دارد;
-ظرفیت جذب بالا: هر گتری برای جذب مولکول گازهای فعال حدی دارد کهبسته به نوع جاذب و نوع گازی که جذب میگردد، این حد متفاوت میباشد;
-فشار پایین تجزیه هیدروژن: فشار تجزیه هیدروژن به علت برگشت پذیربودن جذب هیدروژن باید پایین باشد تا جدا شدن هیدروژن از سطح گتر در زمانهایطولانی و بعد از جذب مقادیر بالاتری از هیدروژن اتفاق بیفتد;
-استفاده از موادی که ضریب نفوذ گاز اکسیژن در آنها بالا باشد، چرا کهبا استفاده از این مواد به عنوان گتر، نفوذ اکسید های سطحی از سطح به درون ماده دردماهای پایین تری مشاهده میشوند [5].
روشهای تولید گترها
یکی از روشهای استفاده مواد جاذب که مطالعات بسیاری نیزبر روی آن انجام شده است، روش پوشش دادن به روش کندوپاش[4] میباشد که بر روی زیر لایه های مختلف، مواد گتر را با ترکیب معینمینشانند و بعد از فعال سازی، گازهای باقی مانده در محیط توسط سطح گتر عاری ازاکسید های سطحی جذب میشوند.
همانطور که درشکل 1-1 مشاهده میشود، گترها در اشکال گوناگونی تولید میگردندکه هر کدام برای محیط خاصی طراحی و ساخته شده اند.
متالورژی پودر یکی دیگر از روشهای تولید گترها میباشد،به این صورت که ترکیب دلخواه از مواد گتر با یکدیگر مخلوط شده (یا آلیاژ سازی شده)سپس مواد به دست آمده در قالب پرس میشوند ( معمولا به شکل قرص ) و با توجه به نوعکاربرد و ترکیب گتر، به صورت زینتر شده و یا بدون عملیات زینترینگ مورد استفادهقرار میگیرند.
[1]Getters
[2]Evaporable getter
[3] Non evaporable getter
[4]Sputtering